Π ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ½Π°Π³ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ·Π»ΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ. ΠΠ»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. ΠΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π°Π·ΠΎΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΡΠΎΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠ»Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π· β ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ Π΄ΡΠ°Π³ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ, Π° ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ. ΠΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠ΅ΡΡ Π·Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π½Π° ΡΡΠ°Π»Ρ, Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ: ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π° ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΠΎΡ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΡ, Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΎΠΊ.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅. CVD-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ (Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ) ΠΈ PVD-ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ (ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅) ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΠ². ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²Π°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΎΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΎΠ² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ
Π‘ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π² Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ Π°Π»Π»ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΠΈ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅. ΠΠ΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π°Π»ΠΌΠ°Π· Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌ ΡΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΊ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π΅.
Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ, ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π±ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΈΠ· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ Π±Π°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ. Π’Π΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΠΌ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅. ΠΡΠ»ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ Π½ΠΎΡΠΌΡ, ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ, ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠΈΠ²ΡΠΈΡΡ Π² Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΈ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΡΠ·Π»Π°. ΠΠ΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π½Π°Π½Π΅ΡΡΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠΈΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΎΠΉ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄ΡΡ ΠΊ ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΎΡΠΊΠ°Π·Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ°. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° β ΡΡΠΎ Π½Π΅ Π±ΡΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΈΡ, Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ.
Π‘ΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ΅
Π¨ΠΈΡΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°Ρ ΠΎΡ Π²Π°ΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»Π΅ΠΉ, ΠΎΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π΄ΠΎ ΡΡΠΆΡΠ»ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ. Π Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ½Π΅Π²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Ρ, ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π½ΡΡ Π½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ². Π‘Π½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄ ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΡ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Ρ.
- π§ ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°: ΡΠ²Π΅ΡΠ»Π°, ΡΡΠ΅Π·Ρ ΠΈ ΡΠ΅Π·ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π΅ ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ Π² ΡΠ°Π·Ρ.
- π ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ: ΡΠΏΡΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠ»ΡΠ· ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ½Π΅Π²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π² ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ°Ρ .
- βοΈ ΠΠΈΠ΄ΡΠ°Π²Π»ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΠ½Π΅Π²ΠΌΠ°ΡΠΈΠΊΠ°: ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ»Π°.
Π ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ° ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, Π΅Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ, Π½Π°Π½Π΅ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°. ΠΡΠΎ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ½Π°ΡΡΠΊΠΈ, ΠΏΡΠ΅ΡΡ-ΡΠΎΡΠΌ ΠΈ Π²Π°Π»ΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ prohibitively Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ Π½Π΅ Π²ΡΡΠΊΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΌ Π±Π΅Π· ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΠ΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ, ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠ°Ρ ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ. ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΠΈ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΡ ΠΎΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΈΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅.
Π‘ΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² PVD ΠΈ CVD
ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ (PVD) ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ (CVD) ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ. PVD-ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°. ΠΡΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½Π° ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π½ΠΎΡΡΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ.
Π‘ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, CVD-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ Π½Π° ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ . ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π·Π°ΠΊΠ°Π»ΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ, ΡΡΠ΅Π±ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π² CVD ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°ΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½, ΡΡΠΎ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° PVD-ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ².
ΠΠΈΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ°, ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠ²Π°ΡΡΠ°Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π΄Π²ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ:
| ΠΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ | PVD (Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅) | CVD (Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅) |
|---|---|---|
| Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° | ΠΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ (Π΄ΠΎ 500Β°C) | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ (800-1000Β°C) |
| Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ | 0.1 β 5 ΠΌΠΊΠΌ | 1 β 50 ΠΌΠΊΠΌ |
| ΠΠ΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ | Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ |
| Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ | ΠΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ | Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ |
ΠΠ»Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄, ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π‘Π½Π°ΡΠ°Π»Π° Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ PVD Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΡΡΠΉ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ CVD. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
Π ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ (DLC) ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠΌ?
ΠΠ»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ (DLC) ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ ΠΈ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ, Π½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ CVD.
ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠ°ΠΏΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ° Π½Π° 90% Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠΉ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΡ . ΠΡΠΈΡΡΠΊΠ° ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅Π» ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠ° ΠΆΠΈΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄ΡΡ ΠΊ ΠΎΡΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½Π°Ρ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π°ΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ. Π§Π°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΡ
ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ². ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π΄Π»ΠΈΡΡΡΡ ΠΎΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ°ΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ ΡΡΡΠΎΠΊ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ.
βοΈ ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΊ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠΌΡ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ Π½Π° Π²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΠΏΠ°Ρ . Π Π΅Π·ΠΊΠΈΠΉ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΈ. Π’Π΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ Π³Π»Π°Π·Ρ, Π½ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Ρ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ΅.
ΠΠΎ Π·Π°Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π² ΡΡΠ΅Π΄Π΅ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·Π°. ΠΡΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΠΆΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°. Π’ΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΎΠΊ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅.
ΠΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π΅ Π΄Π°ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΏΠ°ΡΡ Π·Π°ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ. ΠΠ»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°Π·. Π ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠΉΡΠΈ ΠΈΠ· ΡΡΡΠΎΡ Π·Π° ΡΡΠΈΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ, ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π³ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.
ΠΡΠΎΡΡΠΌ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠ·Π°ΡΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π² ΡΠ·Π»ΠΎΠ². Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎ ΠΎΡ Π·ΠΎΠ½Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π² ΠΈ Π·Π°Π΄ΠΈΡΡ.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΠ΅ Π½Π° ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°ΡΡΠΈΡ ΡΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ°ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡΠΌ. Π₯ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡ Π΅ΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ½Π°Π³ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ·Π»ΠΎΠ². ΠΠ»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠΏΡΠ°Π²Π΄Π°Π½Π½ΠΎ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠΌ.
ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ
ΠΠ°ΡΠΊΠ° Π½Π΅ ΡΡΠΎΠΈΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅, ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π³ΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ½ΡΡ. Π£ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π½Π°Π΄ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π²ΡΡΡΠ°ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠ°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠΌ Π² Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠ΅ΠΌ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅ΠΌ.
Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΠΈΠ±ΠΊΠ°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ , Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ².
Π Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π² Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΡΠ³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠ°Ρ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΠΏΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ , ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΠ² ΠΎΠ±ΡΠΈΠΉ ΠΠΠ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π°. ΠΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ Π΄ΡΠ°ΠΉΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
ΠΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ Π·Π° Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ Π°Π΄Π°ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΠΉΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° (ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°, Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π³Π°Π·) ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²Π°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΠΏΡΡΡΡ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ΡΡ Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΊΠ°.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΈΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°ΡΠΈΠΈ
ΠΠ»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» β ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ Π² ΡΡΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ°Π½Π΅Π΅ ΡΡΠΈΡΠ°Π»ΠΈΡΡ Π½Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΠΌΡΠΌΠΈ. ΠΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΠΎΡΠ½Π°ΡΡΠΊΠΈ Π΄ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΡΡΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄Ρ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ»ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ².
ΠΠ»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ β ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°. ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΠΈ ΡΠΈΠΏΠ° Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΎΠΊ. Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ ΠΊ Π²ΡΠ±ΠΎΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π³Π°ΡΠ°Π½ΡΠΈΡΡΠ΅Ρ Π»ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ.
ΠΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΈ Π² Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΏΠ°ΡΡΡΡ Π·Π° ΡΡΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠ΅Π², ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠ°Ρ Π½Π° Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°. Π ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΆΡΡΡΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΡΠΏΠ΅Ρ Π°.
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½ΠΎ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ?
ΠΠ»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ β ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠ½ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ .
ΠΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π»ΡΡΡΠ΅: PVD ΠΈΠ»ΠΈ CVD?
ΠΡΠ±ΠΎΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ. PVD ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, Π½Π΅ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ, ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ. CVD ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, Π½ΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ.
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ?
ΠΠ°, Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π΅, ΡΠ΅ΠΌ Π½Π° ΡΡΠ°Π»Ρ, ΠΈΠ·-Π·Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅. Π’ΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π±ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ².
ΠΠ°ΠΊ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ?
Π‘ΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, Π½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² 5-10 ΡΠ°Π· ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΠΌΠΈ. Π ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΠΎΡ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠ΅ 100 ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΊ 1000 ΡΠ°ΡΠ°ΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ.
ΠΠ»ΠΈΡΠ΅Ρ Π»ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Π²Π΅Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ?
ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π½Π΅Π±ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎ ΠΌΠ°Π»ΠΎ. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Ρ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° Π½Π΅Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π° ΠΈ Π½Π΅ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π±Π°Π»Π°Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ².